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高真空油擴(kuò)散泵是用來獲得高真空或超真空的主要設(shè)備。工作壓力范圍為10-2-10-5Pa，抽氣速率范圍為280～50000L/S，對(duì)各種氣體無選擇性，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，沒有機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件，操作方便，便于維護(hù)。廣泛應(yīng)用于電子、化工、冶金、機(jī)械、高科技等領(lǐng)域。